研課題
J-GLOBAL ID:202104002618412242  研究課題コード:7700116774

次世代超低損傷微細加工プロセス用大口径中性粒子ビーム源の開発

実施期間:2012 - 2014
実施機関 (2件):
企業責任者:
研究責任者: ( , 流体科学研究所, 教授 )
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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