研課題
J-GLOBAL ID:202104002716886180  研究課題コード:08000527

火炎検知用紫外線検出器の開発

実施期間:2007 - 2007
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , 電子機械技術部, 主任専門研究員 )
研究概要:
ワイドバンドギャップ酸化物半導体であるZnOは、安全で無公害、安価といった特徴を持ち、更に可視光に対し透明で紫外線吸収率が高いことから、LED材料としてだけでなく、紫外線センサなどの受光デバイス材料としても期待されている。本研究開発では火炎検出を目指し、ZnO単結晶基板上へ多元スパッタ法によりMgZnO薄膜をエピタキシャル成長し、ショットキーフォトダイオード型紫外線検出器の開発を行なう。
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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