研課題
J-GLOBAL ID:202104002999017735  研究課題コード:08069788

8の字形3次元微小振動を利用した金型鏡面研磨システムの開発

実施期間:2008 - 2008
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , 工学部, 准教授 )
研究概要:
工具先端に8の字形3次元微小振動(数百Hzの振動数)を与えることのできる工具振動システムを開発した。8の字形3次元振動の方位は、コンピュータ制御により3次元空間において自由に変えることができる。こうした振動を用いることで、微細なクロスハッチを被研磨面に与えるような研磨が可能になる。本研究では、10nmRa(算術平均粗さ)レベルの粗さを得ることを目標として、8の字形3次元微小振動による基本研磨特性を明らかにする。
タイトルに関連する用語 (5件):
タイトルに関連する用語
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研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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