多接合PVの効率向上に向けた広帯域透明導電膜の電圧印加型プラズマ合成

実施期間：2012 - 2013
実施機関 (1件)：
研究責任者： ( , 理工学研究科, 准教授 )
研究概要：

亜鉛-酸素混合プラズマ中で、ニッケル電極付きのパイレックスガラス基板に低いシート抵抗のZnO透明導電膜を合成した。この装置は、ニッケル電極に-200 V ~ +80 Vまでの直流電圧を印加しながら膜を合成できる。その結果、亜鉛と酸素の混合比調整でシート抵抗を低減できる限界を超えられる可能性を検証できる装置を開発した。

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研究制度：＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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