研課題
J-GLOBAL ID:202104003615041487  研究課題コード:7700005537

面逐次法による平面度測定システムの開発

実施期間:2006 - 2006
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , 工学部知能デザイン工学科 )
研究概要:
ナノテクと総称される最先端の研究も、実験装置などの製作においては、サブミクロンオーダでの機械加工および組立などを抜きにしては語れない。本研究では、特に高精度な機械工作を行う場合、平面基準となる定盤の平面度を簡便な装置で校正するシステムの開発を目指す。具体的には、2軸の傾斜を同時に計測可能な3本足で構成される傾斜計(面逐次法)を導入することで、測定精度を落とさず、かつ測定にかかる手間を減少させ、短時間で高度な評価を行えるシステムの開発を行う。
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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