研課題
J-GLOBAL ID:202104003694939400  研究課題コード:11101978

赤外線式ガスセンサのための傍熱型波長選択マイクロ光源

実施期間:2011 - 2011
実施機関 (1件):
研究責任者: ( , 工学(系)研究科(研究院), 教授 )
研究概要:
赤外線式ガスセンサのための傍熱型波長選択マイクロ光源を実現するために、原理検証ではニクロム線であった熱源のマイクロヒータ化に取り組んだ。Si/SiO2/Si構造を持つウェハの表裏側からのSi垂直エッチングにより、ほぼ宙に浮いたマイクロヒータ上に出射スリットが配置された一体構造を製作した。熱放射の閉じ込めができる光学系となる。マイクロヒータと基板間の熱絶縁には、幅の細い機械的に弱いデザインが良いが、パッケージする際のダイシングに耐える剛性とのバランスが問題となった。デザイン修正を3回加えた。格子とスペーサも製作してアセンブリし、出射スペクトルを計測した。コントラストは低いものの、波長選択的なピークが示唆された。光源構造および出射スペクトルの改善、効率の評価は今後も進める。
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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