研課題
J-GLOBAL ID:202104004114770965
研究課題コード:10102287
樟脳の熱CVDによる透明導電膜の研究開発
実施期間:2010 - 2011
実施機関 (1件):
研究責任者:
(
, 工学部, その他 )
研究概要:
樟脳(カンファ)は、分子構造:C10N16Oで2つのメチル基(CH3)と炭素の6員環と5員環をもっているため、メタン(CH4)を原料に用いる場合に比して、200°C低温化した基板温度800°Cで、良質なグラフェン膜を得ることができ、5cm×5cmフレキシブルプラスチック基板に、グラフェン膜を作成でき、シート抵抗100オーム/□および可視光透過率85%を得ることができ、透明電極として、十分に使用できることを示した。 また、マイクロ波励起表面波プラズマCVDではさらに300°C低温化した500°Cでも良いグラフェンの成膜ができることを明らかにした。
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