研課題
J-GLOBAL ID:202104004190701646  研究課題コード:16808461

セラミック多層基板を用いたプラズマの殺菌性能の評価とその応用

体系的課題番号:JPMJTM16D4
実施期間:2016 - 2016
実施機関 (1件):
研究責任者: ( , その他部局等, 主任研究員 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJTM16D4
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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