研課題
J-GLOBAL ID:202104004397659518  研究課題コード:10102337

新規反応性ガスを用いた水酸化物薄膜のスパッタ成膜技術の開発

実施期間:2010 - 2010
実施機関 (1件):
研究責任者: ( , 工学部, 教授 )
研究概要:
反応ガスとして過酸化水素を適用したスパッタ法により、水酸化物薄膜を作製することを目的とした。市販の過酸化水素水を液体原料として用い、これから蒸発した過酸化水素と水蒸気の混合ガスをスパッタチャンバに供給した。金属ZrおよびNiターゲットをこの混合ガス中で反応性スパッタすることで、水和酸化ジルコニウム(ZrO2・nH2O)薄膜とオキシ水酸化ニッケル(NiOOH)薄膜を作製した。また、作製した試料の電気化学的特性を評価し、ZrO2・nH2O薄膜のイオン伝導性、およびNiOOH薄膜のエレクトロクロミック特性を確認した。
タイトルに関連する用語 (5件):
タイトルに関連する用語
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研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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