研課題
J-GLOBAL ID:202104004523367625  研究課題コード:7700107663

赤外領域短パルス幅レーザーによるSi/MEMS積層構造物の内部加工技術と周波数増減調整装置の開発

実施期間:2009 - 2010
実施機関 (2件):
企業責任者:
研究責任者: ( , 工学部, 教授 )
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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