ナノシステムの大規模集積化に向けた高速電子線露光法の開発

体系的課題番号：JPMJPR09H3
実施期間：2009 - 2012
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 大学院理学研究科, 講師 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJPR09H3
研究概要：

極限微細化技術において、電子線露光の高速化は最も重要な研究課題です。従来の“一筆書き電子線露光法"では多大な時間とコストを要し、量産には向きません。本研究では、「電子の短波長性」と「電子線の軌道制御性の良さ」を最大限に生かした量産型の高速電子線露光装置の開発を目指します。

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研究制度：＞＞
上位研究課題：ナノシステムと機能創発
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

報告書等：

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