研課題
J-GLOBAL ID:202104004838566162  研究課題コード:12101525

ハーフメタル合金素子作製のための超高真空加熱・成膜制御システムの開発

実施期間:2012 - 2013
実施機関 (2件):
企業責任者:
研究責任者: ( , 大学院工学研究科, 准教授 )
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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