研課題
J-GLOBAL ID:202104004949037860  研究課題コード:7700009428

超低消費電力小型SiCガスセンサの開発

実施期間:2006 - 2006
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , 学際科学国際高等研究センター, 教授 )
研究概要:
本試験では、センサネットワークによる環境モニタリングを想定した、超小型・高機能・超低消費電力のアクティブ無線タグ用半導体式ガスセンサに必要な要素技術を開発することを目的とする。具体的には、極薄炭化ケイ素(SiC)薄膜を用いたガスセンサ部の構築、及びSi MEMS技術を用いたヒータ製作を行い、ガスセンサとしての基本動作を確認する。
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した研究課題タイトルの用語をもとにしたキーワードです
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

前のページに戻る