自己組織化金属ナノ粒子を用いた配線形成技術の確立

実施期間：2011 - 2011
実施機関 (1件)：
研究責任者： ( , 工学部 )
研究概要：

金属ナノ粒子を用いたレーザアシストインクジェット法による金属微細配線の低コスト高速成膜法の開発を目的とし、自己組織化能を有する混合金属ナノ粒子の合成とインク化、インクジェット法による金属微細配線形成、レーザ照射による短時間での金属配線の緻密化の検討、回路形成の試作品の作製を行った。Au/Agコロイドナノ粒子の組成比が導電性に大きな影響を及ぼすこと、インクジェット法による金属配線のパターン形成とCO2レーザの照射により400μm幅の配線がフレキシブル基板上に高速形成可能であることを明らかにした。本研究成果は、フレキシブルエレクトニクスへの展開が可能である。

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研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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