研課題
J-GLOBAL ID:202104005046154920  研究課題コード:11103185

非イオン化クラスタービーム技術を利用したSi深堀エッチング技術の実用化開発

実施期間:2011 - 2013
実施機関 (2件):
企業責任者:
研究責任者: ( , 大学院工学研究科, 准教授 )
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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