研課題
J-GLOBAL ID:202104005117000750  研究課題コード:7700006890

新CVD技術による酸化物単結晶薄膜成長装置の開発

実施期間:2006 - 2006
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , 国際融合創造センター創造部門, 教授 )
研究概要:
酸化亜鉛(ZnO)をはじめとする酸化物半導体結晶を育成する新規技術を開発し、単結晶薄膜育成と伝導性制御の実績を得て、成膜装置としての製品化・実用化を行う(可能性80%以上)。
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した研究課題タイトルの用語をもとにしたキーワードです
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

前のページに戻る