研課題
J-GLOBAL ID:202104005624750906  研究課題コード:13408899

光回路実装のための導波モード共鳴ミラー

実施期間:2013 - 2013
実施機関 (1件):
研究責任者: ( , 大学院工芸科学研究科, 教授 )
研究概要:
共振器集積導波モード共鳴ミラー(CRIGM)を設計・試作した。分布ブラッグ反射器で形成する共振器の内部にグレーティングカップラをチャネル導波路に集積する構造を設計した。石英ガラス基板にAu金属反射膜を蒸着後、バッファ層及びGe:SiO2導波コア層をプラズマCVDで堆積し、塗布した電子ビーム(EB)レジストにグレーティング凹凸およびチャネル構造を電子ビーム直接描画リソグラフィにて形成した。反射スペクトルおよび位相変化を測定した。反射位相を測定するため、2光束干渉を利用する光学系を構築した。その結果、2πの位相変化を確認することができた。
タイトルに関連する用語 (5件):
タイトルに関連する用語
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研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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