半導体結晶成長評価のための新しい回折計の開発

実施期間：2008 - 2008
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 大学院工学研究科, 助教授 )
研究概要：

X線回折測定の一種、X線CTR(crystal truncation rod)散乱測定は、原子層単位で原子分布を評価できる。本研究では、これまで行ってきた半導体結晶成長装置と容易に組み合わせ可能なX線CTR散乱測定法の開発を推し進め、新たに設計された導入するスリット系の導入によって、測定精度と測定されるスペクトルの質を大幅に向上するとともに、多様な測定モードでの測定が可能な装置とすることを目的とする。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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