半導体製造プロセスをモニターする超小型高感度ガスセンサーの開発

体系的課題番号：JPMJTM19DB
実施期間：2019 - 2020
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 大学院自然科学研究科, 准教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM19DB
研究概要：

金属-半導体接合による,ショットキー障壁を利用した半導体製造プロセスをモニターする超小型高感度ガスセンサーの開発を行う。本提案は,産業ガス製造事業者の要求に応えるもので,新型ガスセンサーが開発でき次第,高純度ガスラインの純度管理に利用される。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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