研課題
J-GLOBAL ID:202104005735732435
研究課題コード:19198424
半導体製造プロセスをモニターする超小型高感度ガスセンサーの開発
体系的課題番号:JPMJTM19DB
実施期間:2019 - 2020
実施機関 (1件):
研究代表者:
(
, 大学院自然科学研究科, 准教授 )
DOI:
https://doi.org/10.52926/JPMJTM19DB
研究概要:
金属-半導体接合による,ショットキー障壁を利用した半導体製造プロセスをモニターする超小型高感度ガスセンサーの開発を行う。本提案は,産業ガス製造事業者の要求に応えるもので,新型ガスセンサーが開発でき次第,高純度ガスラインの純度管理に利用される。
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