大気圧開放下におけるダイヤモンド膜の生成およびその制御

実施期間：2006 - 2006
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 大学院理工学研究科, 助教授 )
研究概要：

マイクロ波プラズマを利用した化学気相合成法(CVD)によるダイヤモンド膜作成において,すべてのプロセスを大気圧開放下で行い,真空容器等を必要としない手法を確立し,基板の大きさによらず,任意の広さ・形状のダイヤモンド膜を作成することの出来る装置を研究開発する.

研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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