化学修飾フリー金表面改質技術の配線プロセスへの導入検証;酸化金生成と保存に関する新技術の開発

体系的課題番号：JPMJTM18DG
実施期間：2018 -
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 理工学域工学系, 教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM18DG

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研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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