大表面積配向カーボンナノチューブの作製とスーパーキャパシタへの応用

実施期間：2011 - 2012
実施機関 (1件)：
研究責任者： ( , 大学院工芸科学研究科, 教授 )
研究概要：

カーボンナノチューブ(CNT)の大面積配向成長、従来よりも直径の細いCNTを作製する技術、キャパシタ特性の評価技術について、並行して研究開発を進めた。大面積配向成長では、RF-DCプラズマCVD装置を用い、直径50nm、高さ5μm(成長15分)、密度109/cm^2のCNTを、5cm×5cmの範囲一面に配向して成長させることができた。直径の細いCNTの作製では、熱フィラメント支援球状マイクロ波プラズマCVD装置によって実験を行い、微細化された触媒金属微粒子を用いて、直径10nm以下のCNTが成長できることを確認した。また、比表面積や細孔径分布の評価技術を確立した。さらに、配向CNTを電極としたキャパシタを作製しその静電容量を評価した。

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研究制度：＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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