自己組織プロセスにより創製された機能性・複合CNT素子による柔らかいナノMEMSデバイス

体系的課題番号：JPMJCR08G4
実施期間：2008 - 2013
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , ナノチューブ応用研究センター, スーパーグロースCNTチーム長 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJCR08G4
研究概要：

カーボンナノチューブ(CNT)MEMSデバイス産業を実現するための、デバイス基盤製造技術と、異材料とのインテグレーション技術を開発します。ボトムアップの技法と微細加工技術を組み合わせて、CNTの位置・形状を自由自在に制御しながら集積化させ、異材料とインテグレーションさせ、デザインされた機能を有するCNT素子・ナノ(MEMS)デバイスを創製します。

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研究制度：＞＞
上位研究課題：プロセスインテグレーションによる機能発現ナノシステムの創製
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

報告書等：

2013 終了報告書 , 事後評価書

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