研課題
J-GLOBAL ID:202104005953322052  研究課題コード:08005302

知能性基板を用いた高感度・超小型強誘電体薄膜スマートセンサの開発

実施期間:2005 -
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , 教授 )
研究概要:
エピタキシャルγ-Al2O3/Si基板(知能性基板)を用いることで、単結晶強誘電体薄膜センサとSi集積回路との一体化を図ったスマート赤外線イメージセンサ、超音波イメージセンサを開発する。高機能、高感度、超小型、低コスト化が実現できれば、赤外線センサは家電、防犯だけでなく、車載やFA等の分野へ、超音波センサは物体の3次元認識が可能となることによりロボット、医療等の広範な分野への応用展開が期待される。
タイトルに関連する用語 (5件):
タイトルに関連する用語
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研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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