研課題
J-GLOBAL ID:202104006177969381  研究課題コード:08005396

DC-RF併用スパッタ法による光触媒アナターゼ型TiO2スパッタ薄膜の高速製膜法の開発と応用

実施期間:2007 - 2007
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , 大学院ソシオテクノサイエンス研究部先進物質材料部門 )
研究概要:
ガラス基板や壁面素材上にTiO2膜をコーティングするにあたり高速の膜作製法を開発し、膜の特性向上をはかる。その手法として、対向ターゲット式プレーナマグネトロンスパッタ法やアンバランスプレーナマグネトロンスパッタ法において、DC電源とRF電源を同時に印加し大電力をターゲットに投入できるようにする。このことで10-20分で1ミクロン厚さのTiO2を達成する。この技術をベースにして、光触媒性能の向上の要因について検討をしていく。
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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