電子線励起微小光源による光ナノイメージング

体系的課題番号：JPMJCR09F2
実施期間：2009 - 2014
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 工学部, 教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJCR09F2
研究概要：

本研究では、光を用いて試料の微細構造を実時間で観察でき、ナノメートルの空間分解能を有する実時間・ナノイメージング法の実現を目指します。電子線ビームにより蛍光薄膜を励起し、微小光源を形成し走査するシステムを開発します。この手法は、光学顕微鏡と電子顕微鏡の特徴を融合したもので、全く新しい計測・分析手法として先端科学のイノベーションに寄与します。