研課題
J-GLOBAL ID:202104006376382764  研究課題コード:16813207

パルス光伝導法による半導体シリコンの超高感度不純物分析手法の開発

実施期間:2016 -
実施機関 (1件):
研究責任者: ( , パルスパワー科学研究所 )
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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