研課題
J-GLOBAL ID：202104006376382764  研究課題コード：16813207

パルス光伝導法による半導体シリコンの超高感度不純物分析手法の開発

実施期間：2016 -
実施機関 (1件)：
熊本大学

熊本大学 について


研究責任者：
久保田 弘

久保田 弘 について

(
熊本大学

熊本大学 について

, パルスパワー科学研究所, 教授 )
タイトルに関連する用語 (8件)：
タイトルに関連する用語
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パルス

パルス について

, 
光伝導

光伝導 について

, 
半導体シリコン

半導体シリコン について

, 
高感度

高感度 について

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不純物

不純物 について

, 
分析

分析 について

, 
手法

手法 について

, 
開発

開発 について

研究制度：
産学が連携した研究開発成果の展開

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研究成果展開事業

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研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP)

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研究所管機関：
国立研究開発法人科学技術振興機構

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