四光波光回折技術を利用した表面解析装置の開発

実施期間：2006 - 2006
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 創成科学共同研究機構流動研究部門ナノテクノロジー・材料系, 助教授 )
研究概要：

特許申請中の四光波回折技術を利用した結晶解析装置を製作する。非線形分光を利用して高感度を実現しており、X線解析装置と同等の歪解析、異方性解析が実現される。従来のX線解析に比して安全性、小型化を含む汎用性や製造コストにおいて圧倒的に優れ、特に光デバイスとして市場の大きい窒化物半導体結晶(GaN)を対象とした定量解析装置に応用可能であり、デリバリー型の装置として生産ラインでの評価に耐え得る汎用性をもつ。本課題では、試料を光デバイスとして市場の大きいGaNに限定し、小型化した装置を開発する。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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