AFM 探針評価標準試料の開発

体系的課題番号：JPMJSN09C1
実施期間：2009 - 2011
実施機関 (1件)：
企業責任者：
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJSN09C1
研究概要：

原子間力顕微鏡(AFM) による実形状測定のために、本事業「要素技術プログラム」での成果をもとに、プローブ形状測定標準試料及び校正状態確認用グレーティングの実用化に向けた開発を行い、多層膜を利用した標準試料作製技術を確立します。また、市場にあるAFM カンチレバーに対応した標準試料を開発することで、カンチレバーに形状測定機能の付加価値をつけ、ISO に準拠したソフトウェアを開発し、ユーザーに利便性を提供します。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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