電位補償した微分容量検出によるパワー半導体動作時のナノスケール解析装置

体系的課題番号：JPMJTM19BH
実施期間：2019 - 2020
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 工学部, 教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM19BH
研究概要：

電圧印加によって実動作しているパワー半導体デバイスのナノスケール観測を行い,それらの観測結果に基づいた動作シミュレーションによる解析評価によって,半導体デバイスの理論的動作限界を見極める技術を確立する.

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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