研課題
J-GLOBAL ID：202104006486420866
研究課題コード：20345175
強誘電体分極と電荷の相互作用を利用した新デバイス・システム
体系的課題番号：JPMJCR20C3
実施期間：2020 - 2024
実施機関 (1件)：
研究代表者：
(
, 大学院工学系研究科, 教授 )
DOI：
https://doi.org/10.52926/JPMJCR20C3
研究概要：
Hf系強誘電体を用いたデバイスを、その分極・ドメイン構造を物性評価に裏打ちされた作製プロセスや膜構造上の工夫によるドメインエンジニアリングを通じて、新しい応用を含めた種々の回路システムに向けて最適化し、優れた電気的特性と信頼性をもつFeFET, MFMキャパシタ, FTJといった強誘電体デバイスを実現すると共に、Hf系強誘電体材料・デバイス特性制御技術の学理を確立します。
タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した研究課題タイトルの用語をもとにしたキーワードです
,
,
,
研究制度：
＞
＞
上位研究課題：
情報担体を活用した集積デバイス・システム
研究所管機関：
前のページに戻る
