研課題
J-GLOBAL ID:202104006512074262
研究課題コード:09157613
超微小サイズ不揮発性MRAM素子の性能評価
実施期間:2009 - 2009
実施機関 (1件):
研究代表者:
(
, 工学研究科, 助教 )
研究概要:
大容量・高速・低消費電力動作が可能な不揮発性磁気ランダムアクセスメモリ(MRAM)のサイズ限界は、磁化の熱揺らぎ限界に起因し、CoPtのような高磁気異方性材料では数nm幅程度である。本研究では、直径が数nm程度のCoPtナノドットをCoPt/MgO層上に成長させ、1つのナノドットがトンネル磁気抵抗素子に対応する超微小MRAM素子を作製し、その特性を伝導性原子間力顕微鏡により評価する。
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