電子線リソグラフィーによる炭素系ハイブリッド構造膜の創製と高機能化

体系的課題番号：JPMJPR01N1
実施期間：2001 - 2004
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 材料研究所, 研究員 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJPR01N1
研究概要：

電子線を用いた局所構造制御の原理を確立し、アモルファスカーボン薄膜中にグラファイトクラスター、カーボンオニオンやCNTなどの秩序化構造を導入した3次元的ハイブリッド膜を創製します。これらの構成ユニットの秩序性や次元性に起因した物性とサイズ効果や周期性および構造異方性とを組合せて高機能化を実現します。

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研究制度：＞＞
上位研究課題：秩序と物性
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

報告書等：

2004 終了報告書

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