研課題
J-GLOBAL ID:202104006841461650  研究課題コード:7700009080

環境・安全センシングシステムの構築に有用なAlGaN深紫外光センサーの高性能化

実施期間:2006 - 2006
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , 量子集積エレクトロニクス研究センター, 教授 )
研究概要:
窒化アルミニウムガリウム(AlGaN)は、有害紫外光や火炎特有のスペクトルに選択的感度を有し、超高感度の深紫外光センサーや火炎センサーが実現可能となり、環境・安全センシングシステムの構築に大きな貢献を果たす。しかし、センサー構造の金属?半導体接合には、異常な漏れ電流が流れ、実用化を阻む最大の問題となっている。本試験研究では、漏れ電流機構のモデル化とそれに基づく界面制御プロセスを開発し、AlGaN 深紫外光センサーの高感度化と高安定化を実現する。
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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