研課題
J-GLOBAL ID：202104006877992643
研究課題コード：10102282
水素雰囲気中で作動する高性能ダイオード式COセンサの開発
実施期間：2010 - 2010
実施機関 (1件)：
研究責任者：
(
, その他の研究科, 助教 )
研究概要：
本研究では、純H2雰囲気中で作動可能な高性能ダイオード式COセンサ(電極:貴金属薄膜、酸化物:陽極酸化により作製したTiO2膜)を開発することを目的とした。電流値は目標値(約100 μA)より若干高い値でしか作動しなかったものの(S/N比の問題)、H2中でのCOの目標検知濃度 (0.5 ppm) を十分検出可能なセンサ(電極:Pd-64Pt合金膜(Pd : Pt = 36 : 64 (wt%))およびその表面にAu薄膜をコーティングした積層膜)を開発できた。さらに、相対湿度 (RT) 0%におけるCO応答値に比べて、RT 100%での応答値は3分の1程度となったが(目標:2分の1)、湿度の違いを考慮すると許容できる量まで低減できた。応答回復速度は、空気中で比較的高温(600°C)で前処理することで、大きく改善(90%応答・回復時間:1分以内)できることが明らかとなった。
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