研課題
J-GLOBAL ID:202104007048242005
研究課題コード:08000493
固体電解質膜作製のためのドライプロセス技術の開発
実施期間:2007 - 2007
実施機関 (1件):
研究代表者:
(
, 工学部機能材料工学科, 教授 )
研究概要:
電子機器の超小型エネルギー源として期待される薄膜バッテリーや薄膜スーパーキャパシタには、高イオン伝導性の固体電解質膜が必須である。本研究では、代表的なドライプロセス技術であるスパッタリング法において、水蒸気を反応ガスとして用いることで、プロトン伝導性のTa2O5固体電解質膜を作製する。
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タイトルに関連する用語
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