分解性を有する低収縮型光硬化樹脂の開発とUVインプリント用材料への応用

実施期間：2011 - 2012
実施機関 (1件)：
研究責任者： ( , 大学院工学研究科, 教授 )
研究概要：

UVインプリントは微細加工技術としての期待が大きい。高価な石英モールドの代わりに、安価な複製樹脂モールドの作製法を既に開発した。しかしながら、精確な複製樹脂モールドの作製には、分解性を有し且つ低収縮性であるUV硬化樹脂が必要である。本研究では、ヘミアセタールエステルユニットを分解サイトとした、多官能メタクリラートモノマーを合成し、365nm光照射による重合硬化と、254nm光照射により室温付近で熱分解する低収縮性樹脂を開発した。開発した樹脂をテンプレートモールドに用いて、石英モールドからの精確な複製樹脂モールドの作製に成功した。また、当該樹脂モールドを用いてUVインプリントを達成した。

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研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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