研課題
J-GLOBAL ID:202104007323528356  研究課題コード:19216828

制御ヒドリドを用いた上質な還元ナノプロセスの実証

体系的課題番号:JPMJTM19YN
実施期間:2019 - 2020
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , 電気電子工学系, 教授 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJTM19YN
研究概要:
本研究課題では、従来法では困難であった作成する薄膜の膜質をナノメートルオーダーで均一にする新規なナノプロセスの開発を目的とする。具体的には、制御ヒドリドを用いた上質な還元ナノプロセスの実証を行なう。
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
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研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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