研課題
J-GLOBAL ID:202104007323528356
研究課題コード:19216828
制御ヒドリドを用いた上質な還元ナノプロセスの実証
体系的課題番号:JPMJTM19YN
実施期間:2019 - 2020
実施機関 (1件):
研究代表者:
(
, 電気電子工学系, 教授 )
DOI:
https://doi.org/10.52926/JPMJTM19YN
研究概要:
本研究課題では、従来法では困難であった作成する薄膜の膜質をナノメートルオーダーで均一にする新規なナノプロセスの開発を目的とする。具体的には、制御ヒドリドを用いた上質な還元ナノプロセスの実証を行なう。
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