高感度ねじり振動型MEMS赤外線センサ

実施期間：2009 - 2009
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 機械システム, 教授 )
研究概要：

高感度でありながら非冷却で動作するセンサを、非線形性が強いバネと組み合わせて、ねじり振動子を応用して実現する。波長感度が広く一定な熱型センサの特徴と、小さな振動子の一次元アレイ化によって、赤外分光をハンディな小型システムで可能にする。物質の有無・特定・濃度の、その場測定を可能にすることで、環境モニタリング、食品への異物混入検査、人体からの微量ガス測定による無侵襲医療などの応用を開く。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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