プラズマナノ科学創成によるプロセスナビゲーション構築とソフト材料加工

体系的課題番号：JPMJCR07M5
実施期間：2007 - 2011
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 大学院工学研究科, 教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJCR07M5
研究概要：

将来のナノデバイス量産のために、プラズマプロセスを試行錯誤的手法から科学に基づいた手法への質的変換を実現します。そのため、ラジカル・イオン密度、エネルギーのモニタリング技術を有した卓上型コンビナトリアルプラズマ解析装置を創成し、プラズマナノ科学を構築するとともに、科学に基づいたプロセスデータマップによるプロセスナビゲーションという指導原理を確立します。これにより有機ソフト材料の革新的ナノ加工生産技術を確立します。

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研究制度：＞＞
上位研究課題：ナノ科学を基盤とした革新的製造技術の創成
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

報告書等：

2011 終了報告書 , 事後評価書

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