研課題
J-GLOBAL ID:202104007537188099  研究課題コード:17937203

同軸型アークプラズマ堆積法を利用したウルトラナノ微結晶ダイヤモンド被膜工具の開発

体系的課題番号:JPMJTR172E
実施期間:2017 -
実施機関 (2件):
企業責任者:
研究責任者: ( , 総合理工学研究院, 准教授 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJTR172E
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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