研課題
J-GLOBAL ID:202104007893484573  研究課題コード:11104403

金ナノ粒子を配列した透明基板へのレーザー照射による極限微細加工技術の開発

実施期間:2011 - 2012
実施機関 (1件):
研究責任者: ( , 大学院ソシオテクノサイエンス研究部, 教授 )
研究概要:
ガラス基板上に直径40 nmの金ナノ粒子を担持させてそれにフェムト秒レーザーを照射することにより、金ナノ粒子と同じ位置、同じ形状にナノ孔を作製することに成功した。これは、従来のナノ秒レーザー照射では実現できなかったことである。そして規則的なリソグラフィーパターンに照射することによりガラス表面に数十ナノメートルスケールの規則的な凹凸パターンが作製できるようになった。また、レーザーエネルギー密度(フルエンス)を変化させることによってナノ孔のサイズ、深さを制御することも可能となった。高分子フィルムに金ナノ粒子を用いてナノメートルの貫通孔作製は実現できなかった。
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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