大気圧プラズマCVDによる高分子材料用超高速バリアコーティング

実施期間：2005 - 2005
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 大学院理工学研究科 )
研究概要：

大気圧・常温においてグロー放電状の反応性非平衡プラズマを形成する技術を確立し,プラスチックフィルムに代表される高分子材料表面にSiO2バリア薄膜を超高速(巻取り速度:100m/min以上,膜厚:10-100nm)でコーティングするための技術開発を行う。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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