氷粒子高速衝突現象を利用した洗浄・研磨装置の開発

実施期間：2006 - 2006
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 工学部機械システム工学科, 教授 )
研究概要：

固体粒子高速衝突現象の素過程の解明と、無公害洗浄・研磨への応用を目指した氷粒子高速衝突実験装置の基盤技術の研究開発を行う。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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