研課題
J-GLOBAL ID:202104008256287990  研究課題コード:18066776

ナノ配線を利用した電気抵抗温度依存性の小さな静電チャック用材料の開発

体系的課題番号:JPMJTM18AN
実施期間:2018 -
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , 創造工学部, 教授 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJTM18AN
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
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研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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