高品質強誘電体膜の環境低負荷型厚膜化プロセス開発

実施期間：2005 - 2005
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , エコトピア科学研究所 )
研究概要：

本試験研究では、環境に優しい簡便かつ低コストな化学的手法により、種々の強誘電体材料の実用化へのブレークスルーとなる厚膜化プロセスを開発し、発現する諸特性を正しく評価して実用化への問題点と対策を明らかにすることを目的とする。ここでは、従来の薄膜作製技術からその厚膜化を達成するために必要なコーティング用前駆体溶液の設計、高品質化のためのコーティング条件(基板の選択も含む)および結晶化処理条件(従来のバルク材料よりも大幅に低温化)など作製条件の最適化、さらに高機能化のための結晶成長方位制御をも達成するシーズ育成試験研究を目指す。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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