研課題
J-GLOBAL ID:202104008393092500
研究課題コード:08068850
LSI内部のビアオープン故障の検査入力生成法の開発
実施期間:2008 - 2008
実施機関 (1件):
研究代表者:
(
, 大学院ソシオテクノサイエンス研究部, 准教授 )
研究概要:
近年のLSIの高集積化・多層化にともない、内部配線においては層間のビアが多数用いられている。ビア欠陥によるオープン故障が発生した際には、隣接配線の電圧等による影響を受けるが、対象となる故障数および故障現象数が膨大で検査が困難である。本研究では、ビアオープン故障の検査に関して、実ICのレイアウトから検査入力生成の対象とするビア数の削減を行い、効率的な検査入力生成法についての開発を行う。また、擬似オープン故障を挿入するIC試作により実ICにおける評価を行う。
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