研課題
J-GLOBAL ID：202104008430695040
研究課題コード：7700001351
表面吸着原子制御による極微細ダイヤモンドデバイス
体系的課題番号：JPMJCR9883
実施期間：1998 - 2003
実施機関 (1件)：
研究代表者：
(
, 理工学部, 教授 )
DOI：
https://doi.org/10.52926/JPMJCR9883
研究概要：
ダイヤモンドのホモおよびヘテロエピタキシャル成長技術、微細加工技術の高精度化により、高電界、高周波でのデバイス動作を検討します。さらに表面吸着原子制御をnmスケールあるいは原子スケールで行い、他の半導体では不可能な超微細FETあるいは新機能デバイスの作製をめざします。表面科学と電子デバイスにおける知的資産の有機的な連携により、将来の情報通信、エネルギ一、セキュリティ産業への貢献が期待されます。
タイトルに関連する用語 (2件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した研究課題タイトルの用語をもとにしたキーワードです
,
研究制度：
＞
＞
上位研究課題：
電子・光子等の機能制御
研究所管機関：
報告書等：
前のページに戻る
