可変キャパシタを利用した静電浮上機構のセルフセンシング制御システム

実施期間：2009 - 2009
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 理工学研究科, 教授 )
研究概要：

可変キャパシタを利用した容量型アクチュエータ制御システムを静電浮上に適用し、従来は不可欠であった変位センサを用いずに安定な浮上を達成する。適用する制御システムでは、浮上用アクチュエータと可変キャパシタとを直列に接続し、その両端に一定の直流電圧を印加する。そして、可変キャパシタによってアクチュエータに印加される電圧を制御する。本課題では、可変キャパシタに印加される電圧から浮上対象物の変位を推定する。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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