ナノダイヤモンド・水酸化フラーレン混合スラリーによるサファイア高効率研磨技術に関する研究

実施期間：2013 - 2013
実施機関 (1件)：
研究責任者： ( , 大学院情報工学研究院, 准教授 )
研究概要：

本研究ではナノダイヤモンドスラリーに水酸化フラーレンを混合させることにより材料除去レートの高速化や表面粗さおよびスクラッチの低減が実現可能な研磨技術の確立を目指すものである.材料除去レートの高速化については従来のダイヤモンドスラリーより3倍向上させることを目標としており本研究では水酸化フラーレンの混合やナノダイヤモンド・水酸化フラーレン混合スラリーに光照射を行うことにより従来の4.5倍程度の向上効果を確認した. 次にスクラッチや表面粗さの低減するためダイヤモンド粒子径に関する評価を実施した.ここではナノダイヤモンド粒子の粒子径が小さくなるにつれスクラッチの低減は確認できた.

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研究制度：＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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